VC石墨模具的耐腐蚀性能

VC石墨模具的耐腐蚀功能

极点工况耐受性：

半导体制造：可耐受晶圆刻蚀工艺中的氟化氢（HF）、氯气（Cl2）等腐蚀性气体。

太阳能电池出产：在硅片切开液（含乙二醇、聚乙二醇等）及热处理环境中的腐蚀性介质中保持稳定。

航空航天：在燃料燃烧产生的高温硫氧化物（SO2）等极点气体中，仍能保持结构完整性。

长效执役才能：

采用高纯度石墨（含碳量>99.9%）可进一步提高耐腐蚀功能，延伸模具寿数。